【半導体製造装置】他社牽制力ランキング2023　トップ3は東京エレクトロン、SCREEN、AMAT

株式会社パテント・リザルトは6月21日、「半導体製造装置業界」の特許を対象に、2023年の特許審査過程において他社特許への拒絶理由として引用された特許件数を企業別に集計した「半導体製造装置業界　他社牽制力ランキング2023」をまとめました。
この集計により、直近の技術開発において競合他社が権利化する上で、阻害要因となる先行技術を多数保有している先進的な企業が明らかになります。

集計の結果、2023年に最も引用された企業は、1位 東京エレクトロン、2位 ＳＣＲＥＥＮホールディングス、3位 APPLIED MATERIALS（米）となりました。

1位 東京エレクトロンの最も引用された特許は「基板上に低分子化合物のレジスト膜を適切に成膜する」技術で、LAM RESEARCHの計5件の審査過程で引用されています。このほかには「排液を導出するドレイン管路のメンテナンス頻度の低減に有効な基板処理装置」に関する技術が引用された件数の多い特許として挙げられ、ＳＣＲＥＥＮホールディングスの計3件の拒絶理由として引用されています。
2023年に、東京エレクトロンの特許によって影響を受けた件数が最も多い企業はAPPLIED MATERIALS（114件）、次いでＳＣＲＥＥＮホールディングス（64件）となっています。

2位 ＳＣＲＥＥＮホールディングスの最も引用された特許は「シートフィルムの自動ハンドリング（保持・搬送）」に関する技術で、ディスコなどの計8件の審査過程で引用されています。このほか「分類性能を向上した画像分類装置」に関する技術が引用された件数の多い特許として挙げられ、東洋製缶グループホールディングスなどの計4件の拒絶理由として引用されています。
2023年に、ＳＣＲＥＥＮホールディングスの特許によって影響を受けた件数が最も多い企業は東京エレクトロン（62件）、次いでSEMES（韓）（40件）です。

3位 APPLIED MATERIALSの最も引用された特許は「プラズマエッチング作業工程用の基板支持体」に関する技術で、ＴＯＴＯの「静電チャック」関連特許など計4件の審査過程において拒絶理由として引用されています。
2023年に、APPLIED MATERIALSの特許により影響を受けた件数が最も多い企業は東京エレクトロン（49件）、次いでLAM RESEARCH（28件）となっています。

4位 ディスコは「ウエーハの加工方法」、5位 アルバックは「光輝性膜および光輝性膜の製造方法」が、最も引用された特許として挙げられます。


＊＊＊


■ランキングの集計対象
日本特許庁に特許出願され、2023年12月までに公開されたすべての特許のうち、2023年1月から12月末までの期間に拒絶理由（拒絶理由通知または拒絶査定）として引用された特許を抽出。
本ランキングでは、権利移転を反映した集計を行っています。2024年5月末時点で権利を保有している企業の名義でランキングしているため、出願時と企業名が異なる可能性があります。
業種は総務省の日本標準産業分類を参考に分類しています。


■半導体製造装置業界　他社牽制力ランキング2023　データ販売
納品物：以下のデータを収録したエクセルファイル
１）ランキングトップ30社
半導体製造装置業界の被引用件数上位30社のランキング
２）被引用件数上位100件のリスト
半導体製造装置業界の被引用件数上位100件及び引用先の特許との対応を掲載

価格：50,000円（税抜）

お申し込みは下記URLをご参照ください。
https://www.patentresult.co.jp/ranking/fcit/2023/fcitsemi.html


■本件に関するお問い合わせ先
株式会社パテント・リザルト　事業本部　営業グループ
ホームページURL：https://www.patentresult.co.jp/
メールアドレス：info@patentresult.co.jp


■会社概要
社名：株式会社パテント・リザルト
住所：〒113-0033　東京都文京区本郷2-15-13 お茶の水ウイングビル5階