【半導体製造装置】他社牽制力ランキング2022　トップ3は東京エレクトロン、SCREEN、AMAT

株式会社パテント・リザルトは6月21日、「半導体製造装置業界」の特許を対象に、2022年の特許審査過程において他社特許への拒絶理由として引用された特許件数を企業別に集計した「半導体製造装置業界　他社牽制力ランキング2022」をまとめました。
この集計により、直近の技術開発において競合他社が権利化する上で、阻害要因となる先行技術を多数保有している先進的な企業が明らかになります。

集計の結果、2022年に最も引用された企業は、1位 東京エレクトロン、2位 SCREENホールディングス、3位 APPLIED MATERIALSとなりました。

1位 東京エレクトロンの最も引用された特許は「基板処理装置の修理や保守、点検等の際に、作業者に有用な情報（支援情報）を提供するための支援情報表示方法」に関する技術で、横河電機や東京ガスなどの計6件の審査過程で引用されています。このほかには「基板処理装置」に関する技術が引用された件数の多い特許として挙げられ、ＳＵＭＣＯなどの計6件の拒絶理由として引用されています。
2022年に、東京エレクトロンの特許によって影響を受けた件数が最も多い企業はＳＣＲＥＥＮホールディングス（93件）、次いでAPPLIED MATERIALS（85件）となっています。

2位 SCREENホールディングスの最も引用された特許は「シートフィルムなどの被処理体のハンドリング」に関する技術で、ディスコの計35件の審査過程で引用されています。このほか「基板処理方法および基板処理装置」に関する技術が引用された件数の多い特許として挙げられ、東京エレクトロンの計3件の拒絶理由として引用されています。
2022年に、SCREENホールディングスの特許によって影響を受けた件数が最も多い企業は東京エレクトロン（75件）、次いでディスコ（44件）です。

3位 APPLIED MATERIALSの最も引用された特許は「静電チャックアセンブリ」に関する技術で、東京エレクトロンなど計5件の審査過程において拒絶理由として引用されています。
2022年に、APPLIED MATERIALSの特許により影響を受けた件数が最も多い企業は東京エレクトロン（43件）、次いでLAM RESEARCH（23件）となっています。

4位 ディスコは「ウエーハの研削方法」、5位 アルバックは「真空チャンバ内で被処理物を冷却しながら回転自在に保持する保持装置」が、最も引用された特許として挙げられます。


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■ランキングの集計対象
日本特許庁に特許出願され、2022年12月までに公開されたすべての特許のうち、2022年1月から12月末までの期間に拒絶理由（拒絶理由通知または拒絶査定）として引用された特許を抽出。
本ランキングでは、権利移転を反映した集計を行っています。2023年5月末時点で権利を保有している企業の名義でランキングしているため、出願時と企業名が異なる可能性があります。
業種は総務省の日本標準産業分類を参考に分類しています。


■半導体製造装置業界　他社牽制力ランキング2022　データ販売
納品物：以下のデータを収録したエクセルファイル
１）ランキングトップ30社
半導体製造装置業界の被引用件数上位30社のランキング
２）被引用件数上位100件のリスト
半導体製造装置業界の被引用件数上位100件及び引用先の特許との対応を掲載

価格：50,000円（税抜）

お申し込みは下記URLをご参照ください。
https://www.patentresult.co.jp/news/2023/06/fcitsemi.html


■本件に関するお問い合わせ先
株式会社パテント・リザルト　事業本部　営業グループ
ホームページURL：https://www.patentresult.co.jp/
メールアドレス：info@patentresult.co.jp


■会社概要
社名：株式会社パテント・リザルト
住所：〒113-0033　東京都文京区本郷2-15-13 お茶の水ウイングビル5階