株式会社パテント・リザルトは1月17日、独自に分類した半導体製造装置業界の企業を対象に、各社が保有する特許資産を質と量の両面から総合評価した「半導体製造装置業界 特許資産規模ランキング2022」をまとめました。2021年4月1日から2022年3月末までの1年間に登録された特許を対象に、個別特許の注目度を得点化する「パテントスコア」を用いた評価を行い、企業ごとに総合得点を集計しました。
その結果、1位 東京エレクトロン、2位 APPLIED MATERIALS、3位 SCREENホールディングスとなりました。
その結果、1位 東京エレクトロン、2位 APPLIED MATERIALS、3位 SCREENホールディングスとなりました。
1位 東京エレクトロンの注目度の高い特許には「高スループットで処理可能な、小型の塗布、現像装置」や「光を照射する基板処理装置において、光源部の発光状態の安定化を図り、安定した作業を行う方法」に関する技術が挙げられます。いずれの特許も、中国、米国、韓国、台湾にも出願されています。
2位 APPLIED MATERIALSは「エネルギーストレージデバイスにリチウム金属を堆積させ、また処理する方法」や「基板上の粒子汚染を増加させず、パージガス・加圧ガスの流量を増加させる装置」に関する技術が注目度の高い特許として挙げられます。
3位 SCREENホールディングスの注目度の高い特許には「印刷画像の視認性低下を抑制し、かつコーティング層の印刷不良を確認できる固体製剤」や「基板の外周部における処理幅を精密に制御できる基板処理装置」などに関する技術が挙げられます。
4位 ディスコは「耐久性に優れる単結晶ダイヤモンドを安価で短時間に合成する方法」、5位 KLAは「複雑化、印刷ノードの小型化、メトロロジ入力の増加に対応するリソグラフィシステム」などが、それぞれ注目度の高い特許として挙げられます。
詳細については、ランキングデータ「半導体製造装置 特許資産規模ランキング2022」にてご覧いただけます。
■価格：50,000円（税抜）
お申し込みは下記URLをご参照ください。
https://www.patentresult.co.jp/news/2023/01/semicon.html
■本件に関するお問い合せ先
株式会社パテント・リザルト 事業本部 営業グループ
Tel：03-5802-6580
Fax：03-5802-8271
ホームページURL：https://www.patentresult.co.jp/
■会社概要
社名：株式会社パテント・リザルト
住所：〒113-0033 東京都文京区本郷2-15-13 お茶の水ウイングビル５階
